虽然心里在腹诽,但是却是不动声色的点了点头。
“哦是这样呀,陈老师……”
老周看似随意的补充道。
“林总监今天上午应该来考场这边一趟!
到时候我给他说一声吧。”
陈老见老周这态度,也是心中一阵无语,我江城六中没面子?
还要报李东的号?
不过好像是真的没李东有面子,至少现在是。
“那就麻烦周主任了。”
……
此时此刻,考场内。
只剩下最后四十分钟了。
李东坐在座位上,看着试卷的最后一页,眼神很复杂。
他一直觉得自己为了改变命运,在群里披着马甲薅那些科学巨匠的羊毛,已经算是挺不要脸的行为了。
但是,今天看了华轩科技出的这道压轴题,李东才知道,什么叫“资本的厚颜无耻”!
【某半导体设备企业正在研发 28nm工艺节点量产型浸没式光刻系统,核心要采用 193nm arf准分子激光光源,局部浸没式成像架构,在投影物镜最后一片镜片与晶圆表面之间,填充折射率 n=1.
44的超纯水作为成像介质,以提升系统分辨率和成像精度。
系统工作时,晶圆台以匀速直线扫描完成整片晶圆曝光,曝光激光的能量会在浸没液中产生局部瞬态温升,进而引发成像误差。】
某半导体企业?
到底是哪个半导体企业呢?
好难猜呀。
看完这个背景,再看问题。
李东的眼角都开始抽搐了。
【请你设计一套配套的成像误差实时补偿方案,需同时满足以下所有硬性指标:
补偿精度:可将浸没介质折射率波动带来的曝光线宽误差,控制在±1.
2nm以内;
响应速度:补偿延迟≤1ms,可适配晶圆台≥1200mm/s的匀速扫描速度;
抗干扰能力:补偿效果不受浸没液瞬态温度波动、流速扰动、溶解气体含量变化的影响;
结构约束:方案不得改动现有曝光光学系统的核心结构与参数,不得改变浸没介质的成分与基础物性,无任何与晶圆表面直接接触的部件。
量产要求:方案核心部件可标准化批量生产,单套系统物料成本≤100万元人民币。】
“呵呵。”
这题如果是说人话的话就是:
我们国威装备现在在搞浸没式光刻机。
然后遇到点小问题。
水被激光加热以后,什么折射率变了呀,什么光路歪了呀,所以良品率崩了。
我们呢,是养一大帮百万年薪的顶尖光学博士和流体力学专家。
但是!
他们好像不太会。
所以,我们就想让你们这群连大学校门都没进的高中生,来试试能不能用不超过一百万块钱的成本,帮我把这个问题给秒了?
“好不要脸!”
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