这老头,说话果然像茅坑里的石头,又臭又硬。
陈启没废话。
他伸手拉开了帆布袋的拉链。
“我不是来骗补贴的。
我是来给你看个东西的。”
陈启把手伸进袋子,将那块黑乎乎的、圆柱形的半透明晶体拿了出来,放在了油腻的工作台上。
周德明原本准备转身走人的动作,瞬间定住了。
他望着桌上那块东西。
车间里昏黄的灯光打在晶体表面,折射出一种冷冽的碳化硅特有的光泽。
周德明扔掉手里的脏抹布。
他扑了过去的。
他连手上的油污都顾不上了,双手捧起那块晶棒。
动作小心翼翼,像捧着一块绝世珍宝,又像捧着一个易碎的婴儿。
他几乎贴在了晶棒上。
眼睛在那道细微的裂纹上反复看来看去。
“6英寸碳化硅单晶”周德明喃喃自语,声音都在发颤,“这长晶的纹路这透光度”
他猛地抬起头,那双原本浑浊的眼睛里,爆发耀眼的光芒。
“微管缺陷率多少?
!”他几乎是吼出来的。
“小于0.
1个/平方厘米。”陈启双手插在兜里,语气平淡,“国家级半导体材料检测中心出的报告。
设备是华科改造的国产外延炉。”
“不可能!”周德明,“国内的设备怎么可能长出这种品质的晶棒?
!
哪怕是日本那几家巨头,用最顶级的进口炉子,商用标准也只能卡在小于1!
你这是在哪个实验室里烧了几百次才碰巧烧出来的一个残次品吧?
!”
“不是碰巧。”
陈启看着他,“这是我们一期量产线上,几个炉子同时开,长出来的第一批货。”
周德明愣住了。
他低下头,再次看向手里那根晶棒。
粗糙的手指抚摸着晶棒中间那道裂纹。
“切片进给速度快了至少百分之五。
张力控制不稳。”周德明干巴巴地说,一针见血,“热场在生长中段,氩气流量有极微小的波动,导致热应力没释放干净。
所以裂了。”
陈启在心里暗暗点头。
神了。
系统给的答案里,确实标注了生长中段必须动态调整氩气流量。
陶安然没做到这一点,导致了裂纹。
这老头光靠看和摸,就能把问题诊断得八九不离十。
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