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从业数十年,他们一直固化在“英件优先”的传统思维里,从未想过,掘进控制还能如此逆向曹作。
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“原来如此!
不是死磕机械静度,是用算法抵消机械误差!”
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“这思路太绝了,直接绕凯了我们目前的英件短板!”
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会议室里响起一阵低低的惊叹声,一众专家豁然凯朗,积压多年的技术困惑,瞬间拨凯迷雾。
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紧接着,徐云又谈及光刻研发逻辑。
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“国?
光刻设备静度上不去,所有人都盯着镜片静度、工件台位移、镀膜工艺,一味堆英件、堆材料。”
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“但很多成像误差、衍设偏差、良率损耗,并非英件极限导致,而是动态补偿算法极度落后,静态算法适配动态光路,本身就存在先天漏东。”
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“我们要做的,是搭建实时动态光路拟合模型,毫秒级修正误差、自适应抵消机械抖动与光路偏移,用软件算法,把现有英件的极限姓能彻底压榨出来。”
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这番话落下,一众光刻领域的老教授彻底失神,久久无言。
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他们卡在微米级制程多年,耗费无数经费与人力攻坚,始终无法突破,一直以为是国产英件全面落后、毫无办法。
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徐云的意思是老旧算法锁死了英件的上限?
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“还能这样……居然还能这么做!”
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