门关上后，许晨拿起桌上的手机，拨通了晨宇资本负责人陈立峰的电话。

电话响了两声就被接起。

“许总。”

“陈总，你现在方便说话吗？”

“方便，我在办公室，刚看完上微电子那边发来的最新进展报告。”

许晨眼神一动：“正好，我打电话也是为了这件事。

长天光学和天卓精密那边，最近有什么新动静？”

陈立峰的声音带着一丝掩饰不住的兴奋：“许总，我正要向您汇报。

上微电子的贺总工上个月传来消息，咱们那套65nm干式光刻机，在轩辕半导体二期已经稳定跑了好几个月了，良品率已经稳定了。

王立国院士那边，NA 0.

85的物镜系统量产工艺已经完全成熟，天卓精密的双工件台定位精度也稳定在了1.

5纳米以内。”

“但这不是最关键的。”陈立峰的语气变得郑重，“最关键的是浸没式方案的进展。

贺总工那边已经开始做整机验证了，如果一切顺利，明年上半年就能拿出45nm的工程样机。

长天光学那边，NA 1.

35的浸没式物镜也已经进入了镜片研磨的攻坚阶段。”

许晨靠在椅背上，目光变得深邃。

“陈总，我今天给你打这个电话，就是要你盯紧这件事。

65nm只是起点，我们的目标是在最短的时间内，把这条路线推到28nm。”

“我知道。”陈立峰的声音里带着一种志在必得的坚定，“许总，我这边已经在做预算了。

28nm浸没式光刻机的研发投入会很大。

镜片研磨周期、流体控制系统、配套光刻胶的国产化适配，每一个环节都需要持续地往里砸钱。”

“不管多少钱，都要砸。”许晨的语气不容置疑，“天擎能源的定增过段时间就会落地，4200亿的市值不是拿来放在账面上好看的。

光刻机我们也要继续往前推。

你那边盯紧长天、天卓、天虹和上微电子的进度，有任何进展立刻告诉我。”

“明白。”

许晨顿了顿，语气变得深沉：“国际局势越来越紧了，高端光刻机迟早会被彻底封锁。

我们现在有65nm打底，这是底气。

但65nm只是地基，28nm才是让整个华国半导体产业真正站起来的基石。

这台机器，我们要抢在封锁之前跑出来。”

“许总，您放心。

晨宇资本会全力保障这条线。”陈立峰的声音异常坚定。

.

.

.

.

.

.
本章已完成！